定制漏孔（氦檢漏儀內置標準漏孔）VTL-EA型

檢漏儀內置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一部分，與檢漏儀的精確度息息相關，檢漏儀器檢測過程中用來校準其精度的一種標準漏率。

關鍵詞：標準漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規真空計 | 高低真空校準裝置 | 氦漏孔校準裝置

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產品詳情

檢漏儀內置標準漏孔是檢漏儀部件中非常重要的一部分，與檢漏儀的精確度息息相關，檢漏儀器檢測過程中用來校準其精度的一種標準漏率。通過比較檢漏儀對這些標準漏孔進行檢測時的響應值與實際尺寸的差異，可以評估檢漏儀的檢測精度和穩定性，在檢漏儀的檢測過程中，由于受到環境、物質等各種因素的影響，檢測結果可能會出現誤差。此時若采用標準漏孔進行校準，便可以提高檢測儀器的準確性和可靠性。

目前通常是廠家提供的鋁制滲氦標準漏孔，漏率一般是10-8Pa·m3/s量級，東貝真空制作的內置標準漏孔是采用微通道毛細管的通道型漏孔。

技術參數一覽表

VTL	-EA
漏孔元件	微通道毛細管	漏率	10-8Pa.m3/s (其他漏率可定制）
充壓	可重復充氣	對外接口	根據檢漏儀接口定制，如KF16
示值允許偏差	±10%	溫度補償	＜0.3%/℃
應用	可以替代當前主流品牌檢漏儀的內置漏孔，例如：INFICON(英?？担?、Leybold（萊寶）、Pfeiffer/Adixen(普發/阿爾卡特）、KYKY

特點

抗震抗摔，使用壽命長：檢漏儀自帶漏孔為滲氦漏孔，泄漏元件是玻璃滲透膜，非常容易破碎損壞，而且不能充氣重復使用，廠家建議一般2年更換漏孔，東貝真空采用的微通道毛細管通道型漏孔，抗震抗摔，使用壽命一般為滲透膜材質漏孔幾倍甚至更長。

漏率穩定：檢漏儀自帶的滲氦漏孔，溫度系數一般為3.0%~4.0%/℃，由于天氣不同的溫差，以及檢漏儀內部開機前后內部相對封閉環境的溫度變化等，均會對漏孔的漏率影響較大，而且滲氦漏孔的穩定時間非常長，通常需要幾個小時，這必然會造成檢漏儀的偏差；東貝真空采用的微通道毛細管技術溫度補償小于0.3%/℃，可忽略溫度補償（溫度變化10℃漏率變化相當于滲氦漏孔變化1℃）。

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